gem. Art. 21, Abs. 2, Bst. c BöB Der MLA 150 von Heidelberg bietet einzigartige Eigenschaften für Zuverlässigkeit, hohen Durchsatz bei hoher Auflösung, Benutzerfreundlichkeit sowie langfristige Kosteneffizienz. Deshalb ist der MLA 150 das einzige Werkzeug, welches die Reinraumkapazitäten von BRNC erweitern und die geforderten Lithographie-Anforderungen von heute und morgen vollständig erfüllen kann.
- Fourniture
Maskless Aligner pour la lithographie sans masque
- Lieu
- Canton ZH
- Service d'achat
- ETH Zürich - Abt. Procurement & Export Services
- Service demandeur
- ETH Zürich - Binning and Rohrer Nanotechnology Center (BRNC)
Adjugé de gré à gré
Adjugé à
- Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH, HeidelbergEUR 538’500.00
Qu'est-ce qui est acquis ?
Étendue des prestations
Système d'alignement sans masque pour la lithographie sans masque pour l'utilisation au Binning & Rohrer Nanotechnology Center (BRNC) de l'ETH Zurich chez IBM Research GmbH.
Données clés, codes et options
Données clés, codes et options
- Type de marché
- Fourniture
- Type de fourniture
- Achat
- Corps de métier
- Ne ressort pas des données de publication disponibles.
- CPV
- CPV 38000000 – Équipements de laboratoire, d'optique et de précision (excepté les lunettes)
- Options
- Ne ressort pas des données de publication disponibles.
- Variantes
- Ne ressort pas des données de publication disponibles.
- Offres partielles
- Ne ressort pas des données de publication disponibles.
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Source officielle
- Numéro de projet simap
- 7359
- Numéro de publication
- 7359-01
- Soumis aux accords internationaux
- Oui
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