Die Zuschlagsempfängerin hat die höchste Punktzahl aller eingereichten Angebote erzielt. Insbesondere bei den Lebenszykluskosten wie Unterhaltskosten und Energieverbrauch war ihr Angebot das beste.
- Fourniture
ICP3 Installation de gravure ionique FIRST ETH Zurich
- Lieu
- Canton ZH
- Service d'achat
- ETH Zürich - Abt. Procurement & Export Services
- Service demandeur
- ETH Zürich - FIRST-Lab
Adjugé
Adjugé à
- Oxford Instruments GmbH, WiesbadenEUR 482’245.00
Qu'est-ce qui est acquis ?
Étendue des prestations
Livraison d'une installation de gravure ionique réactive avec plasma à couplage inductif, comprenant un système d'alimentation en gaz pour au moins 9 gaz, avec une pression de processus jusqu'à 100 mtorr et des flux de gaz jusqu'à 500 sccm, des générateurs RF/ICP dans la gamme des kW avec autotuning, surveillance spectroscopique du plasma, sas de chargement automatique pour un chargement rapide, pour des tailles d'échantillon à partir de 4 pouces de diamètre, avec régulation de la température de l'échantillon dans la gamme de 10 à 300°C.
Données clés, codes et options
Données clés, codes et options
- Type de marché
- Fourniture
- Type de fourniture
- Achat
- Procédure
- Procédure ouverte
- Corps de métier
- Ne ressort pas des données de publication disponibles.
- CPV
- CPV 38000000 – Équipements de laboratoire, d'optique et de précision (excepté les lunettes)
- Options
- Ne ressort pas des données de publication disponibles.
- Variantes
- Ne ressort pas des données de publication disponibles.
- Offres partielles
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Source officielle
- Numéro de projet simap
- 4823
- Numéro de publication
- 4823-02
- Soumis aux accords internationaux
- Oui
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