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Appel d'offres, extrait

Système de dépôt en grappe de couches minces pour la pulvérisation de métaux et de diélectriques

Adjudicateur
ETH Zürich - Abt. Procurement & Export Services
Lieu
Canton ZH
Délai de remise
Aucun délai indiqué
Publié
19.11.2025
Procédure
Procédure ouverte
Type
Fourniture
Numéro de projet
7527
CPV
38000000 Équipements de laboratoire, d'optique et de précision (excepté les lunettes)

Description

Installation de revêtement en couche mince en cluster pour la pulvérisation de métaux et de diélectriques. Système en cluster avec un sas et 4 chambres de processus (PC) pour la pulvérisation DC et RF de diélectriques et de métaux sur des substrats semi-conducteurs et autres. Pour plus de détails, veuillez consulter notre spécification.

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