Éviers pour FIRST II dans le nouveau bâtiment HPQ de l'ETH

L'appel d'offres porte sur la conception, la livraison, le montage, le raccordement et la mise en service d'un total de 12 paillasses de traitement humide modulaires d'une longueur d'environ 2,4 m chacune, destinées à des applications de processus dans la salle blanche FIRST II.

Ces installations sont destinées au traitement chimique humide de plaquettes de 200 mm avec une faible consommation de produits chimiques. Selon leur configuration, les paillasses de traitement humide comprennent des cuves de traitement et de rinçage, des cuves à ultrasons, des centrifugeuses à eau ou à plaquettes, des centrifugeuses-enductrices avec plaques chauffantes, des lavabos ainsi que des raccordements pour les fluides, l'électricité et l'évacuation des déchets. Différentes versions sont prévues pour les processus de lithographie et de chimie humide, y compris des zones séparées pour les flux de fluides et d’eaux usées (notamment les bases, les acides et l’HF).

Toutes les paillasses de traitement humide doivent être conçues pour une utilisation en salle blanche. Elles doivent être équipées d’un système de surveillance de l’air évacué avec signalisation claire des dysfonctionnements et enregistrement des erreurs.