Un outil polyvalent de nanofabrication

L'EPFL prévoit d'acquérir un outil polyvalent de nanofabrication pour son Laboratoire de Nanosciences pour les Technologies de l'Énergie (LNET) au sein de l'École STI. Cet équipement sera dédié à la recherche de pointe en nanofabrication polyvalente.

Conformément aux besoins de l'EPFL et aux objectifs scientifiques spécifiques de plusieurs chercheurs principaux (PI) co-signataires et laboratoires, l'accent sera mis sur les domaines de recherche suivants :

La nanofabrication polyvalente, y compris les techniques en niveaux de gris, qui évite l'utilisation de particules chargées et permet l'alignement sur des structures de surface préfabriquées sans les endommager, grâce à des modes d'imagerie AFM in-situ.

Applications prévues :

• Nanoélectronique

• Nanophotonique

• Nanophononique

• Nanobioingénierie