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Appel d'offres, extrait

Un système de dépôt en couche atomique (ALD)

Adjudicateur
EPFL-Scientific Equipment
Lieu
Canton VD
Délai de remise
Aucun délai indiqué
Publié
15.11.2024
Procédure
Procédure ouverte
Type
Fourniture
Numéro de projet
4050
CPV
38000000 Équipements de laboratoire, d'optique et de précision (excepté les lunettes)

Description

L'EPFL envisage d'acquérir un système de dépôt en couche atomique (ALD) pour son laboratoire de dispositifs nanoélectroniques (NANOLAB) de la Faculté École Polytechnique (STI). L'équipement sera dédié au dépôt de couches minces de matériaux oxydes et nitrures compatibles avec la technologie CMOS, incluant le VO2, ZrO2, HfO2, HZO, SiO2, TiN, Al2O3 pour la fabrication de dispositifs à faible consommation d'énergie pour le traitement et le stockage de l'information et des capteurs écoénergétiques.

En ce qui concerne les besoins de l'EPFL et les objectifs scientifiques spécifiques de son NANOLAB, l'accent sera mis sur les processus et systèmes de matériaux suivants :

  • Matériaux à changement de phase basés sur le VO2 (pur et dopé), incluant des couches ultra-minces adaptées pour les canaux de transistors à effet de champ
  • Couches minces de HfO2, ZrO2 et (Hf,Zr)O2 ferroélectriques/antiferroélectriques intégrées sur TiN, VO2, et Si/SiO2 pour mémoires non volatiles et circuits neuromorphiques
  • Oxydes comme SiO2 et Al2O3 incluant des structures multicouches incorporant les matériaux fonctionnels mentionnés ci-dessus

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