Lieferung · Labor- und Messgeräte
Beschaffung eines Leistungsmoduls mit zugehörigem Steuerungssystem im Hinblick auf den Aufbau einer Hochspannungsstromversorgung
noch 5 Tage
Kanton VDEPFL-Scientific EquipmentPubliziert 02.10.2026Offenes Verfahren
Offen · noch 1 Tag
- Lieferung
Ein Plasma-Ätzsystem (Reactive Ion Etching, RIE) für das Center of MicroNanoTechnology
- Beschaffungsstelle
- EPFL-Scientific Equipment
- Bedarfsstelle
- EPFL – Center of MicroNanoTechnology (CMi)
Auf einen Blick
- 12.11.2026, 23:59noch 1 Tag
- Lieferung
- Offenes Verfahren
- In den Unterlagen
- In den Unterlagen
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Was wird beschafft?
Leistungsumfang
Die EPFL beabsichtigt, für ihr Center of MicroNanoTechnology (CMi) ein Plasma-Ätzsystem (Reactive Ion Etching, RIE) als Plattform für das Ätzen von Metallen zu beschaffen. Das System soll sowohl für quadratische Fotomasken als auch für Standard-Wafer in verschiedenen Größen ausgelegt sein.
Das CMi ist eine nutzerorientierte Einrichtung für die Mikro- und Nanofabrikation, die allen Fakultäten der EPFL zentralen Zugang zu Reinraumkapazitäten bietet und auch der lokalen Industrie offensteht (mit jährlich mehr als 650 aktiven Nutzern).
Die Anlage ist für Spitzenforschung im Bereich der Mikro- und Nanofabrikation vorgesehen, insbesondere für die Strukturierung von Metallschichten auf lithografischen Masken/Reticles sowie auf Wafern.
Bei der Bewertung wird nicht nur auf die Ätzqualität geachtet, sondern – als zweiter wesentlicher Aspekt für die angestrebte Flexibilität des Systems – auch darauf, wie Kreuzkontaminationen zwischen verschiedenen Materialien vermieden werden.
Ebenso von großer Bedeutung sind die Benutzerfreundlichkeit für eine effiziente Schulung neuer Anwender, die Vielseitigkeit der Prozesssteuerung sowie die nachgewiesene Robustheit der Anlage für den Einsatz in einer Reinraumumgebung für Forschung und Entwicklung.
Auch die Reaktionsfähigkeit und räumliche Nähe des Anbieters im Hinblick auf den umfassenden Support (technisch und prozesstechnisch) werden berücksichtigt.
Eckdaten, Codes und Optionen
Eckdaten, Codes und Optionen
- Auftragsart
- Lieferung
- Lieferart
- Kauf
- Verfahren
- Offenes Verfahren
- Gewerke
- Nicht aus den verfügbaren Publikationsdaten ersichtlich.
- CPV
- CPV 38000000 – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (ausser Gläser)
- Optionen
- Vorgesehen
Siehe Pflichtenheft.
- Varianten
- Zugelassen
- Teilangebote
- Nicht zugelassen
Einordnung von TEXFY: Produkte, Anlagen, Mengen, technische Spezifikationen und Ausschlüsse sind keine strukturierten Felder der Publikation. TEXFY wertet den Freitext dazu nicht aus: im Originaltext und in den Ausschreibungsunterlagen prüfen.
Termine
- Veröffentlicht
- 03.10.2026
- Fragen bisvorbei
- 05.11.2026
- Alle Fragen betreffend das Pflichtenheft und die Ausschreibung müssen schriftlich gestellt werden (E-Mail or Simap Forum).
- Nach Ablauf der oben erwähnten Frist wird nicht mehr auf die Fragen eingegangen. - Einreichungsfristals Nächstes
- 12.11.2026, 23:59
- Angebot gültig
- 160 Tage nach der Frist
Begehung
Es findet keine Begehung statt.
Einreichung & Unterlagen
Digital über simap.ch
Quelle: simap-Angaben
Digital über externe Plattform
Quelle: simap-Angaben
Per Post oder Abgabe vor Ort
EPFL-Scientific EquipmentEPFL AVP-CP ECO BI A2 447 (Bâtiment BI) Station 71015 LausanneQuelle: simap-Angaben
- Unterlagen auf simap.ch (nach Anmeldung)
- Englisch
- Englisch
- Keine Kosten
- Über das Frageforum auf simap.ch (Anmeldung als Anbieter nötig). Zur offiziellen Ausschreibung (simap.ch, öffnet in neuem Tab)
Teilnahme & Zuschlag
Laut Quelle in den Unterlagen: Inhalt nur in den AusschreibungsunterlagenIn den Ausschreibungsunterlagen: Eignungskriterien, Zuschlagskriterien, Teilnahmebedingungen, Einzureichende Unterlagen.
Bedingungen
5 Bedingungen
- Bietergemeinschaften
- Nicht erlaubt
- Subunternehmer
- Erlaubt
- Verlängerung des Vertrags
- Nicht vorgesehen
- Dialog
- Nicht vorgesehen
- Sonstige Anforderungen
- Die Auftraggeberin vergibt diesen Auftrag nur an Anbieter, welche die in den Ausschreibungsunterlagen und der Besetzgebung festgelegten Teilnahmebedingungen einhalten. Dies betrifft insbesondere die Einhaltung der Arbeitsschutzbestimmungen, der Arbeitsbedingungen, der Lohngleichheit, des Umweltrechts und das wettbewerbskonforme und korruptionsfreie Verhalten.
- Interessierte Firmen müssen sich auf www.simap.ch registrieren um auf das Pflichtenheft und die Beilagen zugreifen zu können.
- Vorbehalten bleiben die Beschaffungsreife des Projektes sowie die Verfügbarkeit der Kredite.
- Um die Aktualität der Information und die Gleichbehandlung der Anbieter zu gewährleisten, werden zur Beurteilung nur jene Offerten berücksichtigt, welche nach der Veröffentlichung der Ausschreibung auf dem Server www.simap.cheingereicht wurden.
Offizielle Quelle
Zur offiziellen Ausschreibung(simap.ch, öffnet in neuem Tab)
- Projektnummer simap
- 45313
- Publikationsnummer
- 45313-01
- WTO-Regeln gelten (Staatsvertragsbereich)
- Ja
- Rechtsmittelbelehrung
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Gegen diese Verfügung kann gemäss Art. 56 Abs. 1 des Bundesgesetzes über das öffentliche Beschaffungswesen (BöB) innert 20 Tagen seit Eröffnung schriftlich Beschwerde beim Bundesverwaltungsgericht, Postfach, 9023 St. Gallen, erhoben werden. Die Beschwerde ist im Doppel einzureichen und hat die Begehren, deren Begründung mit Angabe der Beweismittel sowie die Unterschrift der beschwerdeführenden Person oder ihrer Vertretung zu enthalten. Eine Kopie der vorliegenden Verfügung und vorhandene Beweismittel sind beizulegen.
Die Bestimmungen des Verwaltungsverfahrensgesetzes (VwVG) über den Fristenstillstand finden gemäss Art. 56 Abs. 2 BöB keine Anwendung.
Mehr dazu im Ratgeber
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