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Bando, estratto

Dünnschicht-Cluster-Abscheidungssystem für das Sputtern von Metallen und Dielektrika

Committente
ETH Zürich - Abt. Procurement & Export Services
Luogo
Cantone ZH
Termine d'inoltro
Nessun termine indicato
Pubblicato
19.11.2025
Procedura
Procedura aperta
Tipo
Fornitura
Numero di progetto
7527
CPV
38000000 Attrezzature da laboratorio, ottiche e di precisione (escluso vetri)

Descrizione

Lingua originale: tedesco

Dünnschicht-Cluster-Beschichtungsanlage für das Sputtern von Metallen und Dielektrika Clusteranlage mit einer Schleuse und 4 Prozesskammern (PCs) für das DC- und RF-Sputtern von Dielektrika und Metallen auf Halbleiter- und anderen Substraten. Details entnehmen Sie bitte unserer Spezifikation.

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