Das gewählte Material entspricht zum jetzigen und voraussehbaren Zeitpunkt am ehesten unseren finanziellen Mitteln und Bedürfnissen (Sicherung der Investitionen) unter Berücksichtigung der schnellen Entwicklung der Anforderungen in der Forschung.
- Fornitura
Ein System zur Atomlagenabscheidung (ALD)
- Luogo
- Cantone VD
- Servizio d'acquisto
- EPFL-Scientific Equipment
- Servizio richiedente
- EPFL – Nanoelectronic Devices Laboratory (NANOLAB)
Aggiudicato
Aggiudicato a
- Veeco GmbH, AschheimPrezzo non pubblicato
Che cosa si acquista?
Portata delle prestazioni
Die EPFL beabsichtigt, ein System zur Atomlagenabscheidung für ihr Labor für Nanoelektronische Geräte (NANOLAB) der Technischen Fakultät (STI) zu erwerben. Die Ausrüstung wird speziell für die Abscheidung dünner Schichten aus CMOS-kompatiblen Oxid- und Nitridmaterialien wie VO2, ZrO2, HfO2, HZO, SiO2, TiN, Al2O3 eingesetzt, um energiesparende Geräte für die Informationsverarbeitung und -speicherung sowie energieeffiziente Sensoren herzustellen.
In Bezug auf die Bedürfnisse der EPFL und die spezifischen wissenschaftlichen Ziele ihres NANOLABs wird besonderes Augenmerk auf folgende Prozesse und Materialsysterme gelegt:
- Phasenwechselmaterialien basierend auf VO2 (rein und dotiert), einschließlich ultradünner Schichten, geeignet für Kanäle von Feldeffekttransistoren
- Ferroelektrische/antiferroelektrische dünne Schichten aus HfO2, ZrO2 und (Hf,Zr)O2, integriert auf TiN, VO2 und Si/SiO2 für nichtflüchtige Speicher und neuromorphe Schaltkreise
- Oxide wie SiO2 und Al2O3, einschließlich mehrschichtiger Strukturen, die die oben genannten funktionalen Materialien enthalten
Dati principali, codici e opzioni
Dati principali, codici e opzioni
- Tipo di commessa
- Fornitura
- Tipo di fornitura
- Acquisto
- Procedura
- Procedura aperta
- Generi di lavoro
- Non risulta dai dati di pubblicazione disponibili.
- CPV
- CPV 38000000 – Attrezzature da laboratorio, ottiche e di precisione (escluso vetri)
- Opzioni
- Non risulta dai dati di pubblicazione disponibili.
- Varianti
- Non risulta dai dati di pubblicazione disponibili.
- Offerte parziali
- Non risulta dai dati di pubblicazione disponibili.
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Fonte ufficiale
- Numero di progetto simap
- 4050
- Numero di pubblicazione
- 4050-02
- Sottoposto ai trattati internazionali
- Sì
Approfondimenti nella guida
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