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ICP3 Ionenätzanlage FIRST ETH Zürich

Beschaffungsstelle
ETH Zürich - Abt. Procurement & Export Services
Bedarfsstelle
ETH Zürich - FIRST-Lab
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  • Zuschlag vom 10.03.20253 Angebote

    • Oxford Instruments GmbH, WiesbadenEUR 482’245.00 ohne MWST
Zuschläge dieses Auftraggebers

Begründung

Die Zuschlagsempfängerin hat die höchste Punktzahl aller eingereichten Angebote erzielt. Insbesondere bei den Lebenszykluskosten wie Unterhaltskosten und Energieverbrauch war ihr Angebot das beste.

Was wird beschafft?

Leistungsumfang

Sprache der Publikation

Lieferung einer reaktiven Ionenätzanlage mit induktiv gekoppeltem Plasma, bestehend aus einem Gasversorgungssystem für mindestens 9 Gase, mit Prozessdruck bis 100 mtorr und Gasflüssen bis 500 sccm, RF/ICP-Generatoren im kW-Bereich mit Autotuning, spektroskopischer Überwachung des Plasmas, automatischer Ladeschleuse für schnelle Beladung, für Probengrößen ab 4 Zoll Durchmesser, mit Probentemperaturregelung im Bereich von 10 bis 300 °C.

Eckdaten, Codes und Optionen

Auftragsart
Lieferung
Lieferart
Kauf
Verfahren
Offenes Verfahren
Gewerke
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CPV
  • CPV 38000000 – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (ausser Gläser)
Optionen
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Varianten
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Teilangebote
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Offizielle Quelle

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Projektnummer simap
4823
Publikationsnummer
4823-02
WTO-Regeln gelten (Staatsvertragsbereich)
Ja

Mit simap abgeglichen: 10.11.2026, 18:02

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