Zweistrahl Laserinterferometer

Gegenstand des Auftrags ist ein Zweistrahl Laserinterferometer (engl. Double-Beam Laser Interferometer, kurz DBLI) zur Charakterisierung piezoelektrischer und ferroelektrischer Dünnschichten. Das Gerät ermöglicht eine sehr genaue und kontaktfreie Bestimmung der piezoelektrischen Eigenschaften inklusive d33 und e31f. Die Bestimmung des e31f wird durch ein patentiertes Verfahren ermöglicht. Zusätzlich erlaubt die Messelektronik des Geräts eine umfangreiche Charakterisierung der ferroelektrischen und dielektrischen Eigenschaften. Das Gerät beinhaltet eine automatisierte Probenhalterung, so dass Wafer bis zu 200mm Durchmesser vollautomatisiert vermessen werden können. Umfang des Angebots ist das DBLI mit Messelektronik sowie die Lieferung des Geräts inkl. Aufbau und Inbetriebnahme.