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Maskless Aligner für die maskenlose Lithografie

Beschaffungsstelle
ETH Zürich - Abt. Procurement & Export Services
Bedarfsstelle
ETH Zürich - Binning and Rohrer Nanotechnology Center (BRNC)
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Freihändig vergeben

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  • Zuschlag vom 21.11.2024Freihändig

    • Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH, HeidelbergEUR 538’500.00 ohne MWST
Zuschläge dieses Auftraggebers

Begründung

gem. Art. 21, Abs. 2, Bst. c BöB Der MLA 150 von Heidelberg bietet einzigartige Eigenschaften für Zuverlässigkeit, hohen Durchsatz bei hoher Auflösung, Benutzerfreundlichkeit sowie langfristige Kosteneffizienz. Deshalb ist der MLA 150 das einzige Werkzeug, welches die Reinraumkapazitäten von BRNC erweitern und die geforderten Lithographie-Anforderungen von heute und morgen vollständig erfüllen kann.

Was wird beschafft?

Leistungsumfang

Sprache der Publikation

Maskless Aligner System für die maskenlose Lithografie für den Einsatz im Binning & Rohrer Nanotechnology Center (BRNC) der ETH Zürich bei der IBM Research GmbH.

Eckdaten, Codes und Optionen

Auftragsart
Lieferung
Lieferart
Kauf
Gewerke
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CPV
  • CPV 38000000 – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (ausser Gläser)
Optionen
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Varianten
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Teilangebote
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Offizielle Quelle

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Projektnummer simap
7359
Publikationsnummer
7359-01
WTO-Regeln gelten (Staatsvertragsbereich)
Ja

Mit simap abgeglichen: 10.11.2026, 18:02

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