gem. Art. 21, Abs. 2, Bst. c BöB Der MLA 150 von Heidelberg bietet einzigartige Eigenschaften für Zuverlässigkeit, hohen Durchsatz bei hoher Auflösung, Benutzerfreundlichkeit sowie langfristige Kosteneffizienz. Deshalb ist der MLA 150 das einzige Werkzeug, welches die Reinraumkapazitäten von BRNC erweitern und die geforderten Lithographie-Anforderungen von heute und morgen vollständig erfüllen kann.
- Lieferung
Maskless Aligner für die maskenlose Lithografie
- Ort
- Kanton ZH
- Beschaffungsstelle
- ETH Zürich - Abt. Procurement & Export Services
- Bedarfsstelle
- ETH Zürich - Binning and Rohrer Nanotechnology Center (BRNC)
Freihändig vergeben
Vergeben an
- Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH, HeidelbergEUR 538’500.00
Was wird beschafft?
Leistungsumfang
Maskless Aligner System für die maskenlose Lithografie für den Einsatz im Binning & Rohrer Nanotechnology Center (BRNC) der ETH Zürich bei der IBM Research GmbH.
Eckdaten, Codes und Optionen
Eckdaten, Codes und Optionen
- Auftragsart
- Lieferung
- Lieferart
- Kauf
- Gewerke
- Nicht aus den verfügbaren Publikationsdaten ersichtlich.
- CPV
- CPV 38000000 – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (ausser Gläser)
- Optionen
- Nicht aus den verfügbaren Publikationsdaten ersichtlich.
- Varianten
- Nicht aus den verfügbaren Publikationsdaten ersichtlich.
- Teilangebote
- Nicht aus den verfügbaren Publikationsdaten ersichtlich.
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Offizielle Quelle
- Projektnummer simap
- 7359
- Publikationsnummer
- 7359-01
- WTO-Regeln gelten (Staatsvertragsbereich)
- Ja
Mehr dazu im Ratgeber
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