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Banchi di lavoro a umido per FIRST II nel nuovo edificio ETH HPQ

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Servizio d'acquisto
ETH Zürich - Abt. Procurement & Export Services
Servizio richiedente
ETH Zürich - FIRST-Lab
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Pubblicato
17.10.2026
Bando
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Portata delle prestazioni

Lingua della pubblicazione

Ausgeschrieben werden die Planung, Lieferung, Montage, der Anschluss sowie die Inbetriebnahme von insgesamt 12 modularen Nasswerkbänken mit einer Länge von je ca. 2,4 m für Prozessanwendungen im Reinraum FIRST II.

Die Anlagen dienen der nasschemischen Bearbeitung von 200-mm-Wafern bei geringem Chemikalienverbrauch. Je nach Ausführung umfassen die Nasswerkbänke Prozess- und Spülbecken, Ultraschallbecken, Wasser- bzw. Wafer-Spinner, Spinc oater mit Hotplates, Handwaschbecken sowie Medien-, Elektro- und Entsorgungsanschlüsse. Vorgesehen sind unterschiedliche Ausführungen für Lithografie- und Nasschemieprozesse, einschliesslich separierter Bereiche für Medien- und Abwasserströme (u. a. Laugen, Säuren und HF).

Alle Nasswerkbänke sind reinraumtauglich auszuführen. Sie müssen über eine Abluftüberwachung mit eindeutiger Störungsmeldung und Fehlerprotokollierung verfügen.

Dati principali, codici e opzioni

Tipo di commessa
Servizio
Procedura
Procedura aperta
Generi di lavoro
Non risulta dai dati di pubblicazione disponibili.
CPV
  • CPV 38000000 – Attrezzature da laboratorio, ottiche e di precisione (escluso vetri)
  • CPV 39180000 – Mobili per laboratorio
Opzioni
Non indicato
Varianti
Non indicato
Offerte parziali
Non ammesse

Valutazione di TEXFY: Prodotti, impianti, quantità, specifiche tecniche ed esclusioni non sono campi strutturati della pubblicazione. TEXFY non analizza il testo libero in merito: da verificare nel testo originale e nei documenti del bando.

Fonte ufficiale

Alla pubblicazione ufficiale(simap.ch, si apre in una nuova scheda)
Numero di progetto simap
45974
Numero di pubblicazione
45974-01
Sottoposto ai trattati internazionali
Sì

Confrontato con simap: 10.11.2026, 18:02

Esporta

Questa non è una pubblicazione ufficiale. Fanno fede unicamente i dati pubblicati sulla piattaforma www.simap.ch. Dies ist keine amtliche Veröffentlichung. Massgebend sind die auf der Plattform www.simap.ch veröffentlichten Daten. Chi riutilizza questi dati rispetta le condizioni di simap.ch: CG cifra 6.

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