Entwicklung und Lieferung eines Prototypwerkzeugs für die chemische Vakuumdampfphase (HVCVD)

Die EPFL beabsichtigt den Erwerb eines Prototypwerkzeugs für die chemische Vakuumdampfphase (HVCVD) (High Vacuum Vapour Chemical Deposition Tool). Die Ausrüstung wird der Spitzenforschung in integrierten photonischen Geräten der nächsten Generation, ferroelektrischen Materialien für rekonfigurierbare und neuromorphische HF-Berechnungen und allgemeiner den Anwendungen von ferroelektrischen Materialien in der Mikrotechnik gewidmet sein. und integrierte Nanogeräte.