- Dienstleistung
Nasswerkbänke für FIRST II im Neubau ETH HPQ
- Ort
- Kanton ZH
- Beschaffungsstelle
- ETH Zürich - Abt. Procurement & Export Services
- Bedarfsstelle
- ETH Zürich - FIRST-Lab
Vorankündigung
Diese Veröffentlichung ist keine laufende Ausschreibung.
Mit einer Vorankündigung kündigt die Vergabestelle eine geplante Ausschreibung an. Ob und wann sie erscheint, steht erst mit der Ausschreibung fest.
- Veröffentlicht
- 17.10.2026
- Ausschreibung
- Die Vorankündigung nennt keinen Termin.
Was wird beschafft?
Leistungsumfang
Ausgeschrieben werden die Planung, Lieferung, Montage, der Anschluss sowie die Inbetriebnahme von insgesamt 12 modularen Nasswerkbänken mit einer Länge von je ca. 2,4 m für Prozessanwendungen im Reinraum FIRST II.
Die Anlagen dienen der nasschemischen Bearbeitung von 200-mm-Wafern bei geringem Chemikalienverbrauch. Je nach Ausführung umfassen die Nasswerkbänke Prozess- und Spülbecken, Ultraschallbecken, Wasser- bzw. Wafer-Spinner, Spinc oater mit Hotplates, Handwaschbecken sowie Medien-, Elektro- und Entsorgungsanschlüsse. Vorgesehen sind unterschiedliche Ausführungen für Lithografie- und Nasschemieprozesse, einschliesslich separierter Bereiche für Medien- und Abwasserströme (u. a. Laugen, Säuren und HF).
Alle Nasswerkbänke sind reinraumtauglich auszuführen. Sie müssen über eine Abluftüberwachung mit eindeutiger Störungsmeldung und Fehlerprotokollierung verfügen.
Eckdaten, Codes und Optionen
Eckdaten, Codes und Optionen
- Auftragsart
- Dienstleistung
- Verfahren
- Offenes Verfahren
- Gewerke
- Nicht aus den verfügbaren Publikationsdaten ersichtlich.
- CPV
- CPV 38000000 – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (ausser Gläser)
- CPV 39180000 – Labormöbel
- Optionen
- Nicht angegeben
- Varianten
- Nicht angegeben
- Teilangebote
- Nicht zugelassen
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Offizielle Quelle
- Projektnummer simap
- 45974
- Publikationsnummer
- 45974-01
- WTO-Regeln gelten (Staatsvertragsbereich)
- Ja
Mehr dazu im Ratgeber
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