- Service
Wet workbenches for FIRST II in the new ETH HPQ building
- Location
- Canton ZH
- Procuring office
- ETH Zürich - Abt. Procurement & Export Services
- Requesting office
- ETH Zürich - FIRST-Lab
Prior information notice
This publication is not a running tender.
With a prior information notice, the contracting authority announces a planned tender. Whether and when it appears is only certain with the tender itself.
- Published
- 17.10.2026
- Tender
- The notice gives no date.
What is being procured?
Scope of work
Ausgeschrieben werden die Planung, Lieferung, Montage, der Anschluss sowie die Inbetriebnahme von insgesamt 12 modularen Nasswerkbänken mit einer Länge von je ca. 2,4 m für Prozessanwendungen im Reinraum FIRST II.
Die Anlagen dienen der nasschemischen Bearbeitung von 200-mm-Wafern bei geringem Chemikalienverbrauch. Je nach Ausführung umfassen die Nasswerkbänke Prozess- und Spülbecken, Ultraschallbecken, Wasser- bzw. Wafer-Spinner, Spinc oater mit Hotplates, Handwaschbecken sowie Medien-, Elektro- und Entsorgungsanschlüsse. Vorgesehen sind unterschiedliche Ausführungen für Lithografie- und Nasschemieprozesse, einschliesslich separierter Bereiche für Medien- und Abwasserströme (u. a. Laugen, Säuren und HF).
Alle Nasswerkbänke sind reinraumtauglich auszuführen. Sie müssen über eine Abluftüberwachung mit eindeutiger Störungsmeldung und Fehlerprotokollierung verfügen.
Key facts, codes and options
Key facts, codes and options
- Type of contract
- Service
- Procedure
- Open procedure
- Trades
- Not evident from the available publication data.
- CPV
- CPV 38000000 – Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses)
- CPV 39180000 – Laboratory furniture
- Options
- Not given
- Variants
- Not given
- Partial offers
- Not admitted
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Official source
- simap project number
- 45974
- Publication number
- 45974-01
- Covered by international agreements
- Yes
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